![Triphenylsulfonium (3-hydroxytricyclo[3.3.1.1³,⁷]decane-1-methoxycarbonyl)difluoromethanesulfonate](https://www.echochemical.com/upload/catalog/general/electronic-semiconductor-materials.jpg)
Triphenylsulfonium (3-hydroxytricyclo[3.3.1.1³,⁷]decane-1-methoxycarbonyl)difluoromethanesulfonate
ArF 光阻、高解析度微影製程
| CAS： | 912290-04-1 |
產品型號已省略
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