![Triphenylsulfonium salt with 1-(difluorosulfomethyl)-2,2,2-trifluoroethyl tricyclo[3.3.1.1³,⁷]decane-1-carboxylate](https://www.echochemical.com/upload/catalog/general/electronic-semiconductor-materials.jpg)
Triphenylsulfonium salt with 1-(difluorosulfomethyl)-2,2,2-trifluoroethyl tricyclo[3.3.1.1³,⁷]decane-1-carboxylate
ArF 光阻、高解析度微影製程
| CAS： | 911683-93-7 |
英文名稱依型錄列示；產品型號已省略
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